2019, 4月15日, 美国亚利桑那州
荒芜的沙砾,炙热的阳光,这里是美墨边界的索诺拉沙漠,在一望无际的旷野中,立着一间破败的茅草屋,毫无违合地融入了这一片荒野之中。
两名农夫装扮的男子并肩走进茅屋里,把破烂的木板门轻轻地关上,按下了门边一个和茅屋颜色几乎一样的隐藏按扭。
茅屋的地板发出轻微的『嗡~嗡~』声,开始缓缓下降。
下降的时间很长,已经无法确定是地底第几层了。终於电梯停下,打开门是一个崭新的,极富科技感的金属长廊,两名男子边聊天边走出电梯。
直到他们走远,原本空无一人的电梯中发出一声长叹,一个少女的身影从空气中显现出来,深邃湛蓝的眸子看了看四周,嘴角勾起一抹淡淡的微笑。
然後她步出电梯,蹑手蹑脚地转过长廊,然後才发现墙角的监视器正对着她拍呢!少女看了一眼监视器,然後在一片蓝色光点之中再度隐没了身形。
2019, 7月14日 淩晨两点钟
陈士研站在机台前面,正在修改实验用的程式,在一间强调效率跟品质的晶圆厂里,一个晶片表面缺陷的案子拖了一个礼拜都没破案是不被允许的,今晚就得找出这些缺陷的来源,不然明天大家都得吃土。
这一个晚上,他已经设计了不下十个实验,就不信没有一个能分析出个所以然来,只要找出造成缺陷的原因,就不怕不能改善。只是现在已经是半夜,他也已经在无尘室奋战了将近20个小时,整个人已经进入了一种半昏迷状态,快要连自己在机台里写些什麽都高不清楚了。
「别撑了,光靠这些实验,你是找不出答案的。」一个清脆的女声在士研的背後响起。
回过头,第一眼看到的就是无尘衣包覆下那双明亮、灵动、无比深邃且湛蓝色的眸子,即使只露出一双眼,也美的足以让这个工程师宅男瞬间清醒。
「你刚刚说什麽?」回复神智後士研第一句话就问。
「我说,这个 ca色 你解不了。」女孩淡淡道。「跟我来吧!」
她的右手轻轻在士研背上一拍,士研只感到一阵晕眩,意识一下模糊起来,感觉机台渐渐变大,那个进货口变得像黑洞一样,就连晶圆传送的单位、晶舟(装晶圆的舟状物,一般都25片晶圆装在一个晶舟里,称为1 lot)都变得巨大无比,等他再清醒时,已在一道高墙之下。
「这是你刚刚长的氧化层,50a。」女孩指着高墙的顶端。(1a=1010公尺,约一根头发的百万分之一)。
士研只能傻傻地点头,他根本高不清楚眼前发生了什麽事。要说他真的变小只剩 1a 的身高,他是死都不相信的。
女孩微微一笑,她可不管士研信不信,拉着他的手轻轻地飘到墙头,眼前是一大片平原,但有些地方坑坑洼洼地,像是一个个凹洞。
「你脚下就是刚刚长的二氧化矽,你看那些凹洞,像不像你在电子显微镜下看到的 defect?」女孩指着眼前不远的一个大洞。
士研肉肉眼睛,的确在电子显微镜下看到的就是这样一个个凹洞,大家想破脑袋都想不到这些凹洞到底是哪里来的。
「来。」女孩拉着士研走到凹洞处,只见里面趴着许多龟壳似的物t,有些还从壳里伸出粗短的四肢,正一口一口地啃着地面,形成更多更深的凹洞。
「这些是矽族,它们身体是矽,食物是二氧化矽,吃到身体里把二氧化矽变回矽,把氧排出,这就是它们的日常。这是一种无机生命t,跟你认识的生命形式完全不同。」女孩边说,边抓起其中一只,朝天空抛去,说也奇怪,矽族抛出後竟不落下,而是缓缓朝着天空飞去,慢慢消失不见。
「它们的成份跟你的晶圆一样,所以制程中的酸碱侵蚀对它们都不起作用,一旦出现在晶圆上,就会造成你看到的 defect,但这早已超出你们认知,所以通常都是悬案。」
士研试着拿起一只,往空中抛去,如果这样真的可以解决眼前的问题,他愿意把这些东西一只一只全部抛上天。
τχτyǔzんаǐωǔ.còм 二、Waferdefe
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